WF6 асосан ҳамчун ашёи хом барои коркарди буғи химиявии (CVD) волфрами металлӣ дар саноати электроника истифода мешавад. WSi2, ки аз WF6 сохта шудааст, метавонад ҳамчун маводи ноқилӣ дар микросхемаҳои бузурги интегралӣ (LSI) истифода шавад ва инчунин метавонад ҳамчун ашёи хом барои электродҳои нимноқил, фтор ашёи хом барои агентҳои кимиёвӣ, катализаторҳои полимеризатсия, маводи оптикӣ ва ғайра истифода шавад.